[发明专利]压电元件、液体喷射头和液体喷射设备有效
申请号: | 200610066825.9 | 申请日: | 2006-03-29 |
公开(公告)号: | CN1841802A | 公开(公告)日: | 2006-10-04 |
发明(设计)人: | 角浩二;风间宏信 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H01L41/08 | 分类号: | H01L41/08;H01L41/18;B41J2/14;B41J2/045 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 柳春雷 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明公开了以低的驱动电压获得大的应变的压电元件、液体喷射头和液体喷射设备。该压电元件包括下电极、上电极和压电膜,所述压电膜由锆钛酸铅(PZT)制成,并且具有<100>面优先取向的钙钛矿晶体,所述压电膜被置于下电极和上电极之间。在该压电元件中,由压电膜的<100>面得到的X射线衍射峰位置处在2θ=21.79~21.88度的范围内。 | ||
搜索关键词: | 压电 元件 液体 喷射 设备 | ||
【主权项】:
1.一种压电元件,包括:下电极;上电极;和压电膜,所述压电膜由锆钛酸铅制成,并且具有<100>面优先取向的钙钛矿晶体,所述压电膜被置于所述下电极和所述上电极之间,其中由所述压电膜的所述<100>面得到的X射线衍射峰位置处在2θ=21.79~21.88度的范围内。
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