[发明专利]压电元件、使用压电元件的液体喷射头及液体喷射设备有效
申请号: | 200610066954.8 | 申请日: | 2006-03-30 |
公开(公告)号: | CN1841805A | 公开(公告)日: | 2006-10-04 |
发明(设计)人: | 李欣山;角浩二;村井正己;西胁学 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H01L41/09 | 分类号: | H01L41/09;H01L41/18 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 柳春雷 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明公开了一种其中压电层结晶性被改善且具有均一压电层特性的压电元件、使用该压电元件的液体喷射头以及液体喷射设备。该压电元件包括:设置到衬底的一个表面侧的下电极;压电层,所述压电层由包含铅(Pb)、锆(Zr)和钛(Ti)的压电材料制成,并且设置在所述下电极上;和设置在所述压电层上的上电极,并且在该压电元件中,压电层的相对介电常数为750~1500,压电层的矫顽电场为10~40kV/cm。 | ||
搜索关键词: | 压电 元件 使用 液体 喷射 设备 | ||
【主权项】:
1.一种压电元件,包括:下电极,所述下电极设置到衬底的一个表面侧;压电层,所述压电层由包含铅、锆和钛的压电材料制成,并且设置在所述下电极上;和上电极,所述上电极设置在所述压电层上,其中,所述压电层的相对介电常数为750~1500,所述压电层的矫顽电场为10~40kV/cm。
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