[发明专利]图案评价方法、图案对位方法及计算机可读的媒介无效
| 申请号： | 200610066966.0 | 申请日： | 2006-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN1841015A | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | 三井正 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 李峥;于静 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种图案评价方法，包括：根据作为包括评价对象图案的轮廓点的形状数据的轮廓数据，生成第1阵列数据；根据包括成为所述评价对象图案的检查基准的基准图案的轮廓点的所述基准图案的轮廓数据，生成第2阵列数据；通过对所述第2阵列数据的各个构成要素，执行把所述第2阵列数据的构成要素的值变换为从该构成要素到最近轮廓点的距离的值的函数值的处理即阵列变换处理，生成第3阵列数据；在所述第1阵列数据和所述第3阵列数据之间执行计算处理，生成第4阵列数据；使用所述第4阵列数据的构成要素，计算表示所述评价对象图案和所述基准图案的一致程度的数值。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 评价 方法 对位 计算机 可读 媒介 | ||
【主权项】：
1.一种图案评价方法，包括以下步骤：根据作为包括评价对象图案的轮廓点的形状数据的轮廓数据，生成第1阵列数据；根据包括成为所述评价对象图案的检查基准的基准图案的轮廓点的所述基准图案的轮廓数据，生成第2阵列数据；对所述第2阵列数据的各个构成要素，执行把所述第2阵列数据的构成要素的值变换为从该构成要素到最近轮廓点的距离的值的函数值的处理即阵列变换处理，从而生成第3阵列数据；在所述第1阵列数据和所述第3阵列数据之间执行计算处理，生成第4阵列数据；以及使用所述第4阵列数据的构成要素，计算表示所述评价对象图案和所述基准图案的关系的数值。
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