[发明专利]陀螺振动片、陀螺传感器及陀螺振动片的制造方法

摘要

本发明的目的在于，提供一种防止从陀螺振动片的外部施加的、例如跌落等冲击引起的驱动部或者检测部的破坏，提高了耐冲击性的陀螺振动片及其制造方法，以及陀螺传感器。本发明的陀螺振动片(10)形成：构成支撑部(11)的基部(12)及连结臂(13、14)、2个检测臂(16A、16B)、与连结臂(13、14)的前端连接的驱动臂(15A、15B、15C、15D)。在该驱动臂或者检测臂与其他部分连续地连接的连接部(22、22′)的侧面，形成多级形状的连接面。在该连接面上，在多级形状内的连接部的最内侧，具有配备了与驱动臂或者检测臂的表面连续地连接的略呈圆弧状的壁面(R1、R2)和规定深度的底面的第一级部(20、20′)。

主权项

1.一种陀螺振动片，用于检测所施加的旋转的旋转角速度，其特征在于，具有：支撑部；驱动部，与上述支撑部连接，进行规定的振动；检测部，通过上述支撑部与上述驱动部连接，检测伴随上述驱动部的旋转的由哥氏力产生的检测振动；以及连接部，配备与上述驱动部的宽度方向的侧面或者上述检测部的宽度方向的侧面和与上述驱动部或者上述检测部连接的其他部分的侧面连续地连接的多级形状的连接面，上述连接部具有第一级部，其位于上述连接面之中上述连接部的最内侧，配备了连结上述驱动部的宽度方向的侧面或者上述检测部的宽度方向的侧面和与上述驱动部或者上述检测部连接的其他部分的侧面的略呈圆弧状的壁面和规定深度的底面。