[发明专利]一种适合于酸产生剂的盐及含有它的化学放大型抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 200610067361.3 | 申请日： | 2006-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN1821875A | 公开（公告）日： | 2006-08-23 |
| 发明（设计）人： | 原田由香子;武元一树;户石好治 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温宏艳;李连涛 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种式(I)的盐，其中X代表－OH或－Y－OH，n表示1到9的整数，A+代表有机抗衡离子，Y代表具有1到6个碳原子的二价饱和脂肪烃基。本发明还提供了一种含有式(I)盐的化学放大型抗蚀剂组合物。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适合于 产生 含有 化学 大型 抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种式(I)的盐![]()
其中X代表-OH或-Y-OH，n表示1到9的整数，A+代表有机抗衡离子，Y代表具有1到6个碳原子的二价饱和脂肪烃基。
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