[发明专利]固态图像拾取装置及其制造方法

摘要

本发明涉及固态图像拾取装置及其制造方法。该固态图像拾取装置包括：阱区表面上的电隔离像素的元件隔离绝缘膜；第一隔离扩散层，其在元件隔离绝缘膜下面电隔离像素；以及第二隔离扩散层，其在第一隔离扩散层下面电隔离像素，其中电荷积累区设置于由第一和第二隔离扩散层围绕的阱区中，第一隔离扩散层的内周部分形成突出区，具有第一隔离扩散层的导电类型的杂质和具有电荷积累区的导电类型的杂质在突出区中混合，并且电荷积累区的在电荷积累区和第二隔离扩散层之间的部分在突出区下邻接或邻近第二隔离扩散层。

主权项

1.一种固态图像拾取装置，其中多个包括光电转换部件的像素在半导体衬底上设置的阱区中二维地排列，该光电转换部件具有积累信号电荷的电荷积累区，该固态图像拾取装置包括：在该阱区的表面上的电隔离该像素的元件隔离绝缘膜；在该元件隔离绝缘膜下面的电隔离该像素的第一隔离扩散层；以及在该第一隔离扩散层下面的电隔离该像素的第二隔离扩散层，其中，该电荷积累区设置于由该第一隔离扩散层和该第二隔离扩散层围绕的该阱区中，该第一隔离扩散层的相应于该电荷积累区和该第一隔离扩散层之间的边界的内周部分形成突入该电荷积累区的突出区，在该突出区中，具有该第一隔离扩散层的导电类型的杂质和具有该电荷积累区的导电类型的杂质混合，以及该电荷积累区的与该电荷积累区和该第二隔离扩散层之间的边界相应的部分设置于该突出区下面，并邻接该第二隔离扩散层或邻近其设置。