[发明专利]接触式位移测长器

摘要

一种接触式位移测长器，在以接触式位移测长器对被测量物进行的测量中，可得到正确且有再现性的测量结果。具有：可向第一直线方向往返移动的第一移动体(2)、驱动第一移动体(2)的驱动部(3)、与第一移动体(2)的移动联动并可向与第一直线方向平行的第二直线方向往返移动的第二移动体(4)、在第二移动体(4)的前端安装可交换的测量头(8)、在测量头(8)与被测量物接触的状态时在第二移动体(4)的后端测出波及被测量物的测量力的测量力测出部(9)、在测量头(8)与测量力测出部(9)之间测出第二移动体(4)的移动量的位置测出部(10)、对应测量力测出部(9)的输出使测量力保持一定地控制第一移动体(2)的移动量的控制装置(300)。

主权项

1.一种接触式位移测长器，其特征在于，具有：第一移动体，其可在第一直线方向上往返移动；驱动部，其驱动所述第一移动体；第二移动体，其与所述第一移动体的移动联动并可在与所述第一直线方向不同的第二直线方向上往返移动；测量头，其安装在所述第二移动体的前端；测量力测出部，其在所述测量头与被测量物接触的状态时在所述第二移动体的后端，测出涉及该被测量物的测量力；位置测出部，其在所述测量头与所述测量力之间，测出所述第二移动体的移动量；控制装置，其根据所述测量力测出部的输出，使所述测量力保持一定地控制所述第一移动体的移动量。