[发明专利]压电元件、致动器装置、液体喷射头和液体喷射设备有效
申请号: | 200610067425.X | 申请日: | 2006-03-27 |
公开(公告)号: | CN1841804A | 公开(公告)日: | 2006-10-04 |
发明(设计)人: | 高部本规;角浩二 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H01L41/08 | 分类号: | H01L41/08;B41J2/14;B41J2/045 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 柳春雷 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供了表现出优异位移特性的压电元件、致动器装置、液体喷射头和液体喷射设备,所述压电元件由下电极、压电层和上电极构成,并且当通过宽角X射线衍射法测量所述压电层的面表面时,<100>面的半高宽不大于0.2度,且<200>面的半高宽不小于0.25度。 | ||
搜索关键词: | 压电 元件 致动器 装置 液体 喷射 设备 | ||
【主权项】:
1.一种压电元件,包括:下电极;压电层;和上电极,其中,当通过宽角X射线衍射法测量所述压电层的面表面时,<100>面的半高宽不大于0.2度,且<200>面的半高宽不小于0.25度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于精工爱普生株式会社,未经精工爱普生株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200610067425.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。