[发明专利]基板移放装置,基板移放方法,以及电光装置的制造方法无效
| 申请号： | 200610067447.6 | 申请日： | 2006-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN1840448A | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | 田坂和夫;藤岛博一 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G1/04;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 陈海红;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及基板移放装置，基板移放方法，以及电光装置的制造方法。其中，将沿着支持槽收置于基板收置壳体的玻璃基板移放于托盘中所含有的基板收置面的基板移放装置备有：基板收置壳体放置部；托盘放置部；保持被收置于基板收置壳体的玻璃基板而将其从基板收置壳体取出，并且转移到旋转凹槽的凹槽的基板转移机构；在保持位置上保持被放置于凹槽的玻璃基板，并且在放出位置上放出而将其配置于基板收置面的基板保持机构；以及将基板保持机构从保持位置向放出位置移送的移送机构。 | ||
| 搜索关键词： | 基板移放 装置 方法 以及 电光 制造 | ||
【主权项】：
1.一种基板移放装置，该装置用于将内壁上有支持槽的第1基板收置壳体中沿着所述支持槽所收置的基板，移放于第2基板收置壳体中所含有的基板收置面，其特征在于，包括：放置所述第1基板收置壳体的第1基板收置壳体放置部；放置所述第2基板收置壳体的第2基板收置壳体放置部；基板转移机构，其用于保持被收置于所述第1基板收置壳体的所述基板并将其从该第1基板收置壳体取出，并且将该基板转移到基板放置机构的基板放置部；基板保持机构，其在保持位置上保持被放置于所述基板放置部的所述基板，并且在放出位置上放出该基板而将其配置于所述第2基板收置壳体的所述基板收置面；以及从所述保持位置向所述放出位置移送所述基板保持机构的移送机构。
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