[发明专利]检测芯片上缺陷的方法无效
| 申请号： | 200610068014.2 | 申请日： | 2006-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN101042423A | 公开（公告）日： | 2007-09-26 |
| 发明（设计）人： | 叶家宪;王淳生 | 申请（专利权）人： | 矽统科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/317 | 分类号： | G01R31/317;G01R31/28;G01R31/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 蒲迈文;黄小临 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种用来检测一芯片上一缺陷的方法，该方法包含有：利用多个扫描型样来扫描该芯片上多个扫描链；对于每一个扫描型样，取得至少一嫌疑节点集合或一安全节点集合；取得所有非空集合的嫌疑节点集合的一交集，其中非空集合的嫌疑节点集合为至少包含有一嫌疑节点的嫌疑节点集合；取得对应该多个扫描型样的所有安全节点集合的一联集；将该交集减去该联集，以取得一结果嫌疑节点集合；以及根据该结果嫌疑节点集合，以检测该芯片上的该缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 芯片 缺陷 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用来检测一芯片上一缺陷的方法，其包含有：利用多个扫描型样来扫描该芯片上多个扫描链；对于每一个扫描型样，取得至少一嫌疑节点集合或一安全节点集合；取得所有非空集合的嫌疑节点集合的一交集，其中非空集合的嫌疑节点集合为至少包含有一嫌疑节点的嫌疑节点集合；取得对应该多个扫描型样的所有安全节点集合的一联集；将该交集减去该联集，以取得一结果嫌疑节点集合；以及根据该结果嫌疑节点集合，以检测该芯片上的该缺陷。
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