[发明专利]液滴喷出装置无效
申请号: | 200610068030.1 | 申请日: | 2006-03-23 |
公开(公告)号: | CN1836791A | 公开(公告)日: | 2006-09-27 |
发明(设计)人: | 岩田裕二 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | B05C5/02 | 分类号: | B05C5/02;B05C11/10;B41M1/34;G06K19/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汪惠民 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种液滴喷出装置,其在滑架上倾斜喷出角(θ1)地配置喷头(30),喷出的微小的液滴(Fb),沿着相对于基板(2)的法线倾斜喷出角θ1的喷出方向(J1)飞行。然后,落在背面(2b)上的微小液滴Fb的落点位置(Pa),从喷嘴配置位置(PN)向激光(B)的照射侧接近偏移第1偏移量(L1)。由此,能够将干燥液滴形成的圆点的尺寸控制在所希望的尺寸。 | ||
搜索关键词: | 喷出 装置 | ||
【主权项】:
1.一种液滴喷出装置,具备:具有向基板喷出含有圆点形成材料的液滴的喷出口的喷头、和输出激光的激光输出机构,通过该激光输出机构输出的激光干燥落在所述基板上的所述液滴,而由所述圆点形成材料形成圆点,其特征在于:所述喷头,配置成从所述喷出口向所述基板上的激光的照射位置喷出液滴。
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