[发明专利]耿氏二极管制造方法以及耿氏振荡器

摘要

在半导体基板上依次层叠有第1半导体层、活化层和第2半导体层的耿氏二极管，具有设于第2半导体层上的对活化层施加电压用的第1、第2电极、从该第1电极周围向着第2半导体层和活化层切入并将与第1电极连接的第2半导体层和活化层作为起耿氏二极管作用的区域划分出来的凹部。因为起耿氏二极管作用的区域划定是通过将形成于该区域上部的电极层作为掩模的自配合的干法刻蚀进行的，故能减少其特性差异。并公开了其制造方法和安装结构及NRD波导耿氏振荡器。

主权项

1.一种NRD波导耿氏振荡器，其两片金属板构成的平行平板以所使用频率的自由空间波长的1/2以下的间隔配置，在该平行平板之间将夹持着介质带状线的NRD波导回路与耿氏二极管相组合，由此形成NRD波导耿氏振荡器，其特征在于，具有：在表面形成有与信号线路连接的信号电极和与该信号电极绝缘的接地电极的绝缘性或半绝缘性的平板基板，在同一面上形成有阳极电极和阴极电极且该两电极之一与所述平板基板的信号电极连接而另一电极与所述接地电极连接的耿氏二极管，以及，相对所述平行平板之一支承所述平板基板背面的散热片，并且，所述平板基板的所述信号线路的顶端与所述介质带状线电磁耦合。