[发明专利]对准检测结构及对准偏移量的检测方法有效
| 申请号： | 200610068206.3 | 申请日： | 2006-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN1844845A | 公开（公告）日： | 2006-10-11 |
| 发明（设计）人： | 钟博钦;钟万河;陈建仲 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G09G3/00;G01M11/00;G01R31/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种对准检测结构，其包含基板上的对准图案，以及已知宽度的边框设于该对准图案外围。本发明的对准检测结构可用在COG(Chip－On－Glass)工艺中，配合芯片的对准标记，在COG压合工艺后，通过对准标记与边框的相互位置来直接进行判断偏移量，使本发明可以达到在COG工艺后可直接估算芯片压合后的偏移量去调校机台的最终目的。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 检测 结构 偏移 方法 | ||
【主权项】：
1.一种对准检测结构，包含：基板；对准图案，设于该基板上，该对准图案与芯片上的对准标记互补；以及第一边框，具有已知的第一宽度，位于该对准图案外围。
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