[发明专利]可变电容器无效
申请号: | 200610068209.7 | 申请日: | 2006-03-20 |
公开(公告)号: | CN101043057A | 公开(公告)日: | 2007-09-26 |
发明(设计)人: | 陈佑嘉;曾华洲;洪建州 | 申请(专利权)人: | 联华电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/94 | 分类号: | H01L29/94;H01L29/78 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波;侯宇 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种可变电容器,包括基底、位于基底中的P井、位于基底上的栅极结构、位于栅极结构的一侧的基底中的p+源极、位于栅极结构的另一侧的基底中的p+漏极以及位于P井下方的基底中的深N井。此种可变电容器的栅氧化层较厚,可以降低漏电流的发生机率。 | ||
搜索关键词: | 可变电容器 | ||
【主权项】:
1.一种可变电容器,包括:一基底;一P井,位于该基底中;一栅极结构,位于该基底上;一p+源极,位于该栅极结构的一侧的该基底中;一p+漏极,位于该栅极结构的另一侧的该基底中;以及一深N井,位于该P井的下方的该基底中。
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