[发明专利]液滴喷出装置、结构体形成方法及电光学装置的制造方法无效
| 申请号： | 200610068357.9 | 申请日： | 2006-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN1840353A | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | 三浦弘纲 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J3/407 | 分类号： | B41J3/407;B41J29/00;B41J29/38;B41J2/01;G02B27/00;G02B5/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种液滴喷出装置，包括：向基板喷出含有结构体形成材料的液滴的液滴喷出部、和为了在基板上形成由结构体形成材料构成的结构体，而使已滴落在基板上的液滴干燥的干燥机构。干燥机构具有：能量输出部，其为了使液滴中的结构体形成材料流动，而向已滴落在基板上的液滴输出能量；和能线图控制部，其将从所述能量输出部输出的能量的能线图，控制成为结构体形成材料流动的能线图，使得结构体形成材料对应于应形成的结构体的结构剖面图而分布。根据这样构成的液滴喷出装置，能够形成具有希望的结构剖面图的结构体。 | ||
| 搜索关键词： | 喷出 装置 结构 体形 成方 光学 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种液滴喷出装置，其中，包括：液滴喷出部，其向基板喷出含有结构体形成材料的液滴；干燥机构，其为了在基板上形成由结构体形成材料构成的结构体，而使已滴落在基板上的液滴干燥，所述干燥机构包括：能量输出部，其为了使液滴中的结构体形成材料流动，而向已滴落在基板上的液滴输出能量；和能线图控制部，其将从所述能量输出部输出的能量的能线图，控制成为结构体形成材料流动的能线图，使得结构体形成材料对应于应形成的结构体的结构剖面图而分布。
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