[发明专利]氧化物半导体电极、色素增感型太阳能电池及它们的制造方法

摘要

一种氧化物半导体电极，具有基材、形成于基材上并由热塑性树脂制成的粘接层、形成于粘接层上并由金属氧化物制成的第1电极层、形成于第1电极层上并含有金属氧化物半导体微粒的多孔层，其特征是，所述热塑性树脂含有硅烷改性树脂。还提供一种氧化物半导体电极的制造方法，其特征是，进行如下工序来形成氧化物半导体电极用叠层体，并通过进行在氧化物半导体电极用叠层体的第1电极层上设置基材的基材形成工序，形成带有耐热基板的氧化物半导体电极，进行从所述带有耐热基板的氧化物半导体电极上将耐热基板剥离的剥离工序，其中所述工序包括：夹隔层形成用图案形成工序；氧化物半导体层形成用层形成工序；形成夹隔层及氧化物半导体层的烧成工序；在氧化物半导体层上形成第1电极层的第1电极层形成工序。

主权项

1.一种氧化物半导体电极，具有基材、形成于所述基材上并由热塑性树脂制成的粘接层、形成于所述粘接层上并由金属氧化物制成的第1电极层、形成于所述第1电极层上并含有金属氧化物半导体微粒的多孔层，其中，所述热塑性树脂含有硅烷改性树脂。