[发明专利]一种微型化便携式红外光谱仪

摘要

本发明公布了一种微型化红外光谱仪，它是由脉冲红外光源1，抛物面反射镜2，扫描微镜3，闪耀光栅4，转向反射镜5，狭缝6，高灵敏度室温红外单元探测器7组成。它采用一种新的光路系统，应用基于MEMS技术的脉冲红外光源从而省去了斩波器，并通过扫描微镜和衍射光栅共同实现分光，具有体积小、价格低、精度较高、方便移动使用等优点。

主权项

1.一种微型化便携式红外光谱仪，其特征在于：它由脉冲红外光源(1)、抛物面反射镜(2)、扫描微镜(3)、闪耀光栅(4)、转向反射镜(5)、狭缝(6)和室温红外单元探测器(7)组成；所述脉冲红外光源(1)置于抛物面反射镜2焦点附近，在抛物面反射镜(2)后的平行光路中放置扫描微镜(3)，并在扫描微镜(3)的反射光路中紧接闪耀光栅(4)，扫描微镜(3)既把抛物面反射镜(2)入射来的复色光反射到闪耀光栅(4)上，又把经闪耀光栅(4)分光后的单色平行光反射到抛物面反射镜(2)上进行会聚，并在会聚光路中设置一个转向反射镜(5)，在转向反射镜(5)后，也即会聚的焦点附近设置狭缝(6)，狭缝(6)背后设置室温红外单元探测器(7)，分出的单色光通过狭缝(6)入射到室温红外单元探测器(7)上，并且通过扫描微镜(3)的摆动实现单色光在探测器上的扫描。