[发明专利]激光表面处理有效
申请号: | 200610071433.1 | 申请日: | 2006-03-28 |
公开(公告)号: | CN100381838C | 公开(公告)日: | 2008-04-16 |
发明(设计)人: | 田中健一郎;藤田雅之 | 申请(专利权)人: | 松下电工株式会社;财团法人激光技术综合研究所 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18;G02F1/35;H01S3/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波;侯宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明公开了一种减小光学材料的表面上的反射损失的激光表面处理。在光学材料的表面上形成金属膜;通过照射脉冲宽度为1飞秒到100皮秒的超强短脉冲激光束来从所述基板上去除所述金属膜,使得在通过去除所述金属膜所暴露的所述基板的表面上形成精细周期结构。所获得的精细周期结构具有优选为50到1000nm的周期间隔,可以通过改变激光能量密度而控制精细周期结构的周期间隔。 | ||
搜索关键词: | 激光 表面 处理 | ||
【主权项】:
1.一种激光表面处理,包括如下步骤:在光学透明的基板的表面上形成金属膜;通过照射脉冲宽度为1飞秒到100皮秒的超强短脉冲激光束来从所述基板上去除所述金属膜,使得在通过去除所述金属膜所暴露的所述基板的表面上形成周期间隔为50到1000nm的精细周期结构。
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