[发明专利]金刚石单晶衬底的制造方法和金刚石单晶衬底有效
| 申请号： | 200610071559.9 | 申请日： | 2006-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN1840472A | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | 目黑贵一;山本喜之;今井贵浩 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社 |
| 主分类号： | C01B31/06 | 分类号： | C01B31/06 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 制造金刚石单晶衬底的方法，其中单晶从作为种衬底的金刚石单晶通过气相合成生长，所述方法包括：制备具有主表面的金刚石单晶种衬底作为种衬底，其中该主表面的沿面取向落在相对于{100}平面或{111}平面不超过8度的倾斜范围内；通过机械加工形成许多不同取向的平面，这些平面的主表面的外周边方向相对于该种衬底一侧的主表面倾斜；然后通过气相合成生长金刚石单晶。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石 衬底 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种制造金刚石单晶衬底的方法，其中单晶通过气相合成从作为种衬底的金刚石单晶生长，所述方法包括：制备具有主表面的金刚石单晶种衬底作为种衬底，其中该主表面的沿面取向落在相对于{100}平面或{111}平面不超过8度的倾斜范围内；通过机械加工形成许多不同取向的平面，这些平面的主表面的外周方向相对于该种衬底一侧的主表面倾斜；然后通过气相合成生长金刚石单晶。
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