[发明专利]位移探测装置、位移测量装置以及定点探测装置有效
申请号: | 200610071676.5 | 申请日: | 2006-03-28 |
公开(公告)号: | CN1841027A | 公开(公告)日: | 2006-10-04 |
发明(设计)人: | 田宮英明 | 申请(专利权)人: | 索尼株式会社 |
主分类号: | G01D5/30 | 分类号: | G01D5/30;G01D5/38 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 李春晖 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本申请涉及位移探测装置、位移测量装置以及定点探测装置。通过将由光纤的弯曲和/或应力引起的偏振的单模光纤影响降至最低,位移探测装置、位移测量装置以及定点探测装置能够高精度地探测定点或位移,光纤用来将从光源发出的光传输到探测器。本发明提供一种位移探测装置,包括发出光的光源,聚集从光源发出的光的聚光透镜,传输由聚光透镜聚集的光的光纤,消散由聚光透镜聚集的光的偏振的偏振消散元件,安装在测量目标上用来接收和衍射由光纤传输的光的衍射光栅,以及接收由衍射光栅衍射的光的光接收部,所测量目标的位移用光接收部接收到的衍射光的量来探测。 | ||
搜索关键词: | 位移 探测 装置 测量 以及 定点 | ||
【主权项】:
1.位移探测装置,包括:发出光的光源;聚集从光源发出的光的聚光透镜;传输由聚光透镜聚集的光的光纤;消散由聚光透镜聚集的光的偏振的偏振消散元件;安装在测量目标上用来接收和衍射由光纤传输的光的衍射光栅;以及用于接收由衍射光栅衍射的光的光接收部件;所述测量目标的位移用光接收部件接收到的衍射光的量来探测。
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