[发明专利]半导体器件的探针对齐验证电路和方法无效
| 申请号： | 200610071827.7 | 申请日： | 2006-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN1908575A | 公开（公告）日： | 2007-02-07 |
| 发明（设计）人： | 崔钟贤;徐宁焄 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G01B7/00 | 分类号： | G01B7/00;G01R31/00;G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 邸万奎;黄小临 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种探针对齐验证电路，包括传感器垫片、第一传输线、控制单元、数据垫片、第二传输线、和响应单元。传感器垫片包括绝缘部分和导电部分。第一传输线电连接到导电部分和半导体器件的内部。控制单元维护第一传输线处于第一逻辑状态，并且当在导电部分接收到探测信号时，将第一传输线的逻辑状态转换到第二逻辑状态。第二传输线向数据垫片提供预定的信号。响应单元控制第二传输线以便响应于第二逻辑状态而使第二传输线具有用于未对齐状态的验证结果电压的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体器件 探针 对齐 验证 电路 方法 | ||
【主权项】：
1、一种半导体器件的探针对齐验证电路，包括：传感器垫片，用于接收通过测试器的电压通道提供的探测信号，该传感器垫片包括由绝缘材料构成的绝缘部分和由导电材料构成的导电部分；第一传输线，电连接到传感器垫片的导电部分以及半导体器件的内部；控制单元，用于维护第一传输线处于第一逻辑状态，并且当在导电部分接收到探测信号时，转换到第二逻辑状态；数据垫片；第二传输线，用于向数据垫片提供预定的信号；以及响应单元，用于控制第二传输线以便响应于第一传输线的第二逻辑状态而使第二传输线具有用于未对齐状态的验证结果电压的状态。
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