[发明专利]基板输送室及基板处理装置

摘要

本发明的基板输送室及基板处理装置，可提高基板处理装置的处理量和抑制装置整体接地面积的增大。在基板处理装置中具有基板输送室(12)，该基板输送室(12)具有收容托盘(30)和水平移动机构(55)，该收容托盘(30)可同时至少收容(3)个以垂直或实际垂直立起的状态支承基板的基板支承托盘(28a、28b、28c)，该水平移动机构(55)在处理室和装载密闭室的室群中的任何一个室相互间使收容托盘水平移动到用于进行基板支承托盘的送入或送出的移动的基板输送位置。

主权项

1.一种基板输送室，其特征在于：具有基板支承托盘收容装置和水平移动机构，该基板支承托盘收容装置可同时收容三个以上以垂直或大致垂直立起的状态支承基板的基板支承托盘，该水平移动机构使该基板支承托盘收容装置水平移动；该水平移动机构对所述基板实施规定的处理，使所述基板支承托盘收容装置，相对于一个以上的基板处理室和在大气氛围与真空氛围间进行所述基板的送入送出的、一个以上的装载密闭室的室群中的任何一个室相互间进行所述基板支承托盘的送入或送出移动的基板输送位置，进行水平移动；所述基板支承托盘支承两张基板，使所述两张基板的面相对于垂直面左右对称相向。