[发明专利]用于测量垂直移动的干涉仪

摘要

本发明公开了一种干涉仪，它对于垂直位移测量提供了大的动态范围。在操作中，物体上的测量反射器将测量光束反射到上覆的波罗棱镜，物体上的参考反射器将参考光束返回干涉仪。干涉仪中的第二波罗棱镜可以将用于第二次通过的参考光束返回到参考反射器，而测量光束只完成一次通过。波罗棱镜的后向反射以及物体的某些转动对测量光束和参考光束具有相同的影响，所以光束偏离减小了。物体相对于第一波罗棱镜的垂直运动只在测量光束中引起多普勒频移。因此，在将测量光束与参考光束合并时得到的拍频可以指示与垂直方向运动相关的残余多普勒频移。

主权项

1.一种用于对物体进行测量的系统，所述系统包括：测量反射器，所述测量反射器安装在所述物体上，并定向为将测量光束从沿X方向传播重定向为沿Z方向传播；参考反射器，所述参考反射器安装在所述物体上，并定向为将沿所述X方向传播的参考光束重定向回沿着相反的方向；光学系统，所述光学系统将所述X方向的所述测量光束导向到所述测量反射器用于一次通过，并且将所述X方向的所述参考光束导向到所述参考反射器用于第一次通过然后导向到所述参考反射器用于第二次通过；上覆反射器，所述上覆反射器覆盖在所述物体上方并定位为将所述测量光束导向回所述测量反射器，然后所述测量反射器将所述测量光束导向回所述光学系统；以及检测器，在所述参考光束完成所述第二次通过并且所述测量光束仅完成所述一次通过之后，所述检测器对所述测量光束与所述参考光束之间的差进行测量，其中所述的差指示所述物体在所述Z方向的相对位移。