[发明专利]负载锁定装置及处理方法无效
| 申请号： | 200610072118.0 | 申请日： | 2006-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN1854839A | 公开（公告）日： | 2006-11-01 |
| 发明（设计）人： | 岩渕胜彦 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;B65G49/06;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可适宜地调节基板温度的负载锁定装置及处理方法。该负载锁定装置包括：设置在相对外部搬入搬出基板的搬入搬出部一侧的搬入口和设置在处理基板的处理部一侧的搬出口，其中，具有加热基板(G)的加热用板(71)，所述加热用板(71)包括由多孔质材料构成的板主体(75)和向板主体内供给已加热的加热用气体的加热用气体供给路(76)。加热用气体通过板主体(75)，并从板主体(75)的表面喷出，向基板(G)供给。 | ||
| 搜索关键词： | 负载 锁定 装置 处理 方法 | ||
【主权项】：
1.一种负载锁定装置，其特征在于，包括：设置在相对外部搬入搬出基板的搬入搬出部一侧的搬入口和设置在处理基板的处理部一侧的搬出口，其中，具有对搬入到负载锁定装置内的基板进行加热的加热用板；所述加热用板包括由多孔质材料构成的板主体和向所述板主体供给被加热的加热用气体的加热用气体供给路，使所述加热用气体通过所述板主体中，并从所述板主体的表面喷出，向基板供给。
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