[发明专利]各向异性导电薄膜用压痕检查装置

摘要

本发明涉及各向异性导电薄膜用压痕检查装置。本发明各向异性导电薄膜用压痕检查装置，其特征是，上述装置将利用各向异性导电薄膜的粘结力在其薄膜表面预压接部件的部件材料，利用高温、高压的工具实施压接，在此压接过程中产生的压痕，以影像提取并检查，上述压痕检查装置包括：光学影像生成部、图像控制部以及PLC控制部，其中，上述光学影像生成部中，将物镜设置在一侧分别连接有DIC滤波器和照明部的第一镜筒下面，通过具有分析滤波器的第三镜筒，将连接有第一照相机的第二镜筒连接在上述第一镜筒上面，且将具有视野调整用透镜的第四镜筒连接在上述第二镜筒上面，将第二照相机连接在上述第四镜筒上面。

主权项

1、一种各向异性导电薄膜用压痕检查装置，其特征是，所述装置将利用各向异性导电薄膜的粘结力在其薄膜表面预压接部件的部件材料，利用高温、高压的工具实施压接，在此压接过程中产生的压痕，以影像提取并检查，所述压痕检查装置包括：光学影像生成部(1)，其扩大压痕，得到压痕影像；影像变换部(2)，其将所述光学影像生成部(1)中生成的压痕影像进行数字化；图像控制部(3)，其接收所述影像变换部(2)的信号，实施算法检查；PLC控制部(4)，其接收所述图像控制部(3)的整列信号，驱动传送电机(41)，将供给到检查台(7)放置的部件材料(5)移动到所述光学影像生成部(1)；其中，所述光学影像生成部(1)中，将物镜(12)设置在一侧分别连接有DIC滤波器(111)和照明部(112)的第一镜筒(11)下面，通过具有分析滤波器(141)的第三镜筒(14)，将连接有第一照相机(131)的第二镜筒(13)连接在所述第一镜筒(11)上面，且将具有视野调整用透镜(151)的第四镜筒(15)连接在所述第二镜筒(13)上面，将第二照相机(16)连接在所述第四镜筒(15)上面。