[发明专利]各向异性导电薄膜的压痕检查方法无效

专利信息
申请号: 200610073108.9 申请日: 2006-04-04
公开(公告)号: CN1945296A 公开(公告)日: 2007-04-11
发明(设计)人: 李殷杓;金鲜中 申请(专利权)人: 世联株式会社
主分类号: G01N21/956 分类号: G01N21/956;G01N1/28
代理公司: 北京润平知识产权代理有限公司 代理人: 周建秋;王凤桐
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明涉及各向异性导电薄膜的压痕检查方法。本发明各向异性导电薄膜的压痕检查方法,其特征是,上述压痕检查方法是将压接有各向异性导电薄膜的部件的压痕,以影像提取,并检查连接有无缺陷,上述压痕检查方法包括如下步骤:部件材料供给步骤、调焦步骤、部件材料整列步骤、一次传送步骤、压痕影像捕捉步骤、二次传送步骤、压痕影像检查步骤、反复检查步骤以及结束检查步骤。
搜索关键词: 各向异性 导电 薄膜 压痕 检查 方法
【主权项】:
1、一种各向异性导电薄膜的压痕检查方法,其特征是,所述压痕检查方法是将压接有各向异性导电薄膜的部件的压痕,以影像提取,并检查连接有无缺陷,所述压痕检查方法包括如下步骤:部件材料供给步骤(S10),其中将TAB、FOG、芯片的部件(52)利用各向异性导电薄膜(51)的粘结力预压接后用工具实施压接得到部件材料(5),将所述压接的部件材料(5)用卸装机(6)供给检查台(7);调焦步骤(S20),其中在所述检查台(7)上面放置由部件(52)和导电薄膜(51)构成的部件材料(5),在所述部件材料(5)的上面---导电薄膜(51)的表面调整第二照相机(16)的焦距;部件材料整列步骤(S30),其中从图像控制部(3)的数字输入/输出板(34)输出的整列信号,通过PLC控制部(4),驱动传送电机(41),整列放置有部件材料(5)的检查台(7);一次传送步骤(S40),其中根据所述PLC控制部(4)的信号,驱动传送电机(41),将放置有部件材料(5)的检查台(7)传送到一次检查位置;压痕影像捕捉步骤(S50),其中将传送到所述一次检查位置的部件材料(5)的压痕(53)通过第二照相机(16)捕捉成影像;二次传送步骤(S60),其中在捕捉所述压痕影像的同时产生的捕捉信号附加到PLC控制部(4),将放置有部件材料(5)的检查台(7)传送到二次检查位置;压痕影像检查步骤(S70),其中将放置有部件材料(5)的检查台(7)传送到二次检查位置的同时捕捉的压痕影像,进行算法检查;反复检查步骤(S80),其中在所述传送检查台(7)的同时,如果传送位置为不是最终检查位置时,通过所述一次传送步骤(S40),反复检查压痕影像;结束检查步骤(S90),其中在所述传送检查台(7)的同时,如果传送位置为最终检查位置时,结束压痕影像检查,将放置在检查台(7)上的部件材料(5)排出,结束检查。
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