[发明专利]电光显示装置及其制造方法无效
申请号: | 200610073326.2 | 申请日: | 2006-03-28 |
公开(公告)号: | CN1881593A | 公开(公告)日: | 2006-12-20 |
发明(设计)人: | 增田惠;荒木利夫;日野辉重 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/84 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 杨凯;刘宗杰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供简化TFT结构部的制造工序,同时不限定源/漏电极材质,并准确控制成为TFT沟道部的半导体层膜厚,并防止显示不匀的电光显示装置。漏电极(26)配置成从活性区层(AR)上开始延伸至像素电极(30)下方的透明绝缘性衬底(1)上方。源电极(24)及源极布线(25)配置成使其端面位于相对半导体膜(6)任意端面均退后的位置,活性区层(AR)上的漏电极(26)端面也配置成位于相对半导体膜(6)的具有大致平行关系的端面退后的位置。 | ||
搜索关键词: | 电光 显示装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种电光显示装置,其中包括有源矩阵衬底,所述有源矩阵衬底包括:绝缘性衬底,在所述绝缘性衬底上阵列状配置并设有与薄膜晶体管电连接的像素电极的多个显示像素,将所述薄膜晶体管依次扫描选择的栅极布线,以及向所述像素电极供给电信号的源极布线,且俯视所述栅极布线与所述源极布线呈正交的矩阵状;所述薄膜晶体管设有从配置在所述源极布线下层的半导体膜分支的活性区层,以及在所述活性区层上隔着间隔有选择地配置的源电极和漏电极,在所述活性区层上,至少所述源电极配置成使其端面位置相对所述活性区层任意端面位置退后预定距离以上,所述漏电极从所述活性区层上延伸到像素显示区的所述绝缘性衬底上方地配置,所述像素显示区中的所述漏电极下层不设有所述活性区层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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