[发明专利]洗涤方法及洗涤装置无效
| 申请号： | 200610073365.2 | 申请日： | 2006-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN1840248A | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | 速水直哉;藤田博 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/02;B05B7/04;B08B3/10;H01L21/304;G02F1/13 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沈昭坤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明揭示一种洗涤方法及洗涤装置，洗涤装置具备：提供碱性的洗涤用液体的洗涤用水供给部(50)、提供高压空气的高压空气供给部(40)、以及使所提供的洗涤用水与高压空气混合以使其形成雾状，向半导体晶片(W)喷射的双流体喷嘴(30)。 | ||
| 搜索关键词： | 洗涤 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种洗涤方法，其特征在于，提供碱性洗涤用水，提供高压气体，将所提供的所述洗涤用水与所述气体进行混合使其形成雾状，向被洗物体喷射。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社东芝，未经株式会社东芝许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610073365.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
