[发明专利]用于涂覆基材的设备和模块有效
| 申请号： | 200610073724.4 | 申请日： | 2006-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN1854329A | 公开（公告）日： | 2006-11-01 |
| 发明（设计）人： | 汉斯·布赫贝格尔;安德烈亚斯·盖斯;约尔格·克伦佩尔·黑塞;迪特尔·哈斯 | 申请（专利权）人： | 应用薄膜有限责任与两合公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京邦信阳专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王昭林;唐曙晖 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种用于生产显示器的涂覆透明基材的设备，其包括具有模块设计的涂覆室。每个模块1具有一个室区段2、可移动的设置在室区段2中或其上的第一支撑3和可移动的设置在第一支撑3上的第二支撑4。所述的第一支撑3支撑阴极，而所述的第二支撑4设置为一个表面，在该表面上设有泵，用于在涂覆室内形成真空。可以从侧面将支撑3和4从室区段2移开，从而在模块元件之间形成人员易于接近的区域11a，11b。这样，就易于接近设备的元件，例如，为了维护。可以同时在阴极和室内部进行操作。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 基材 设备 模块 | ||
【主权项】：
1.一种用于涂覆基材的设备，包括一个涂覆室，其特征在于，所述涂覆室是模块化的，包括具有室区段(2)、第一支撑(3)和第二支撑(4)的模块(1)，所述的第一支撑(3)可移动的设置在所述室区段(2)中或其上，所述的第二支撑(4)可移动的设置在所述第一支撑(3)上。
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