[发明专利]振动陀螺传感器和调节振动陀螺传感器的方法有效
| 申请号： | 200610073968.2 | 申请日： | 2006-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN1828224A | 公开（公告）日： | 2006-09-06 |
| 发明（设计）人： | 高桥和夫;稻熊辉往;相泽学;领木浩二;佐佐木伸;中盐荣治 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种包括振动陀螺传感器元件的振动陀螺传感器，该振动陀螺传感器元件包括悬臂振动器，该悬臂振动器在第一表面上包括压电膜、驱动电极和一对检测电极，以及在其上安装该振动陀螺传感器元件的支撑基底。将该振动陀螺传感器元件安装在该支撑基底上以使该悬臂振动器的第一表面面对该支撑基底。将除了该悬臂振动器的第一表面之外的区域界定为激光加工区域，在该激光加工区域中将形成用于调节该悬臂振动器的振动特性的凹陷。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 陀螺 传感器 调节 方法 | ||
【主权项】：
1、一种振动陀螺传感器，包括：包括悬臂振动器的振动陀螺传感器元件，所述悬臂振动器包括在第一表面上的压电膜、驱动电极和一对检测电极；以及在其上安装所述振动陀螺传感器元件的支撑基底，其中，将所述振动陀螺传感器元件安装在所述支撑基底上以使所述悬臂振动器的第一表面面对所述支撑基底，以及将除了所述悬臂振动器的第一表面之外的区域界定为激光加工区域，在所述激光加工区域中将形成用于调节所述悬臂振动器的振动特性的凹陷。
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