[发明专利]图案修正装置、图案修正方法及图案修正组件有效
| 申请号： | 200610074106.1 | 申请日： | 2006-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN1840356A | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | 小池孝志;松岛昌良 | 申请（专利权）人： | NTN株式会社 |
| 主分类号： | B41J29/26 | 分类号： | B41J29/26;B43L19/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 方晓虹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能以简单的结构迅速地修正缺陷部的图案修正装置。在该图案修正装置中，在待机状态下，使涂敷针前端部(19a)浸渍在修正液(17)中。在进行涂敷时，缸体部(20)使驱动轴(20a)下降，涂敷针(19)从容器(18)的孔(18b)伸出。在涂敷针前端部(19a)上附着有修正液(17a)。接着，涂敷缸体(13)使驱动轴(13a)下降，使涂敷针前端部(19a)与基板(20)的缺陷部(22)接触，将修正液(17a)涂敷在缺陷部(22)上。因此，可省去现有技术中的使涂敷针在缺陷部和油墨罐之间往复运动的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 修正 装置 方法 组件 | ||
【主权项】：
1、一种图案修正装置，对基板上形成的微细图案的缺陷部进行修正，其特征在于，包括：底部开设有第一孔、注入有修正液的容器；直径与所述第一孔基本相同的涂敷针；以及使所述涂敷针的前端部从所述第一孔伸出、将附着在所述涂敷针前端部上的修正液涂敷在所述缺陷部上的驱动部。
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