[发明专利]静电驱动器、液滴喷出装置、液滴喷头及其制造方法无效
| 申请号： | 200610074381.3 | 申请日： | 2006-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN1847003A | 公开（公告）日： | 2006-10-18 |
| 发明（设计）人： | 藤井正宽;荒川克治 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;B41J2/04;B41J2/16;H02N1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种实现振动板与对置电极之间的残留电化影响的降低，从而可以进行稳定的驱动的静电驱动器。静电驱动器具有由硅构成的振动板(12)、隔有间隙(10)地对置于振动板(12)且在与振动板(12)之间施加电压的对置电极(17)、以及形成在振动板(12)的与对置电极(17)的对置的面上的绝缘层(16)，绝缘层(16)是成膜于振动板(12)上的由介电常数比氧化硅高的物质构成的电介质层(16B)、和成膜于电介质层(16B)上的表面电荷密度的抑制率比电介质层(16B)高的表面层(16C)的叠层构造。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 驱动器 喷出 装置 喷头 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种静电驱动器，其特征在于，具备振动板、隔有间隙地与该振动板对置且在与该振动板之间被施加电压的对置电极、以及在所述振动板的与所述对置电极对置的面上形成的绝缘层，该绝缘层构成为电介质层和表面层的叠层结构，其中，所述电介质层成膜于所述振动板上并由介电常数高于氧化硅的物质构成，所述表面层成膜于所述电介质层上且其表面电荷密度的抑制率高于所述电介质层。
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