[发明专利]微移动元件及光开关器件无效
| 申请号： | 200610074386.6 | 申请日： | 2006-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN1847916A | 公开（公告）日： | 2006-10-18 |
| 发明（设计）人： | 曾根田弘光;宓晓宇;奥田久雄;壶井修;高马悟觉;上田知史 | 申请（专利权）人： | 富士通株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81B3/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王玉双;高龙鑫 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微移动元件及光开关器件。其中微移动元件包括微移动衬底、封装基底以及导电连接部件。该微移动衬底设有微移动单元，该微移动单元包括：框架；可移动部件，其能够转动；扭转连接部件，连接该框架与该可移动部件；以及致动器，用于产生使该可移动部件转动的驱动力。该封装基底包括内部互连结构。该导电连接部件设置在该微移动衬底与该封装基底之间，用于电连接该致动器与该内部互连结构。 | ||
| 搜索关键词： | 移动 元件 开关 器件 | ||
【主权项】：
1.一种微移动元件，包括：微移动衬底，设有微移动单元，该微移动单元包括：框架；可移动部件，其能够转动；扭转连接部件，连接该框架与该可移动部件；以及致动器，用于产生使该可移动部件转动的驱动力；封装基底，包括内部互连结构；以及导电连接部件，设置在所述微移动衬底与所述封装基底之间，电连接该致动器与该内部互连结构。
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