[发明专利]含金属化合物的纯化无效
| 申请号： | 200610074691.5 | 申请日： | 2006-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN1854147A | 公开（公告）日： | 2006-11-01 |
| 发明（设计）人： | D·V·舍奈－卡特喀特;M·B·鲍尔 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C07F19/00 | 分类号： | C07F19/00;C07F3/00;C07F5/00;C07F7/00;C07F9/00;C07F3/02;C07B63/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沙永生 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供使用连续萃取法纯化含金属化合物的方法。提供高纯度的含金属化合物，且所述含金属化合物适合用于沉积金属膜，特别是用于电子器件的金属薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 化合物 纯化 | ||
【主权项】：
1.一种用于纯化含金属化合物的方法，所述方法包括以下步骤：提供包含一定量含金属化合物和杂质的组合物；用一定量的溶剂对该组合物进行连续萃取；从溶剂中收集含金属化合物；其中所述含金属化合物微溶于所述溶剂，所述溶剂的量不足以完全溶解所述量的含金属化合物。
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