[发明专利]用于制造振动陀螺传感器和振动元件的方法有效
申请号: | 200610074737.3 | 申请日: | 2006-02-28 |
公开(公告)号: | CN1831478A | 公开(公告)日: | 2006-09-13 |
发明(设计)人: | 稻熊辉往;本多顺一;铃木浩二;高桥和夫;中盐荣治 | 申请(专利权)人: | 索尼株式会社 |
主分类号: | G01C19/56 | 分类号: | G01C19/56 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波;侯宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明公开了一种振动陀螺传感器包括:支撑衬底,在该支撑衬底上形成具有多个焊接区的布线图案;以及安装在该支撑衬底的表面上的振动元件。该振动元件包括:具有安装表面的基底部分,在该安装表面上形成多个终端;以及振动器部件,在振动器部件以悬臂的方式从该基底部分的一侧整体地突出,并且具有与该基底部分的安装表面共面的面向衬底的表面。该振动器部件具有按顺序在该面向衬底的表面上形成的第一电极层、压电层和第二电极层。而且,在该振动器部件的基底端形成加强件,以便该振动器部件的截面面积向着基底部分逐渐增加。 | ||
搜索关键词: | 用于 制造 振动 陀螺 传感器 元件 方法 | ||
【主权项】:
1.一种振动陀螺传感器,包括:支撑衬底,在所述支撑衬底上形成具有多个焊接区的布线图案;以及安装在所述支撑衬底的表面上的振动元件;其中所述振动元件包括:具有安装表面的基底部分,在所述安装表面上形成多个连接到所述焊接区的终端;以及振动器部件,所述振动器部件以悬臂的方式从所述基底部分的一侧整体地突出,并且具有与所述基底部分的安装表面共面的面向衬底的表面;所述振动器部件具有按顺序在所述面向衬底的表面上形成的第一电极层、压电层和第二电极层;以及加强件,在所述振动器部件的基底端形成,以便所述振动器部件的截面面积向着该基底部分逐渐增加。
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