[发明专利]抛光设备

摘要

该抛光设备可将一工件传送给一顶环而不会使该工件从中心位置移开并可精确地抛光该工件。该抛光设备具有用来将工件传送给顶环的一传送单元。该传送单元包括：一引导件，该引导件具有一接收部分，将工件中心定位；一安放台，该安放台相对于引导件垂直移动，且具有一安放部分，该安放部分接纳中心定位的工件；以及一支承机构，该支承机构支承安放台并使安放台可向下移动。该安放台相对移动而靠近顶环并将工件压到顶环的下表面上，从而将工件传送给所述顶环。

主权项

1.一种抛光设备，它包括：一抛光板，该抛光板具有覆盖有抛光布的一上表面；一顶环，该顶环具有用来固定一工件并将该工件的一下表面压到抛光布上的一下表面，将所述顶环相对于所述抛光板移动，从而抛光工件的下表面；以及一传送单元，该传送单元位于一工件传送位置，在该位置处，工件被传送给所述顶环；其中，所述传送单元包括：一引导件，该引导件包括一接收部分，且引导所传送的工件的一外边缘，从而完成工件的中心定位；一安放台，该安放台相对于引导件垂直移动，且具有一安放部分，该安放部分接纳来自引导件的中心定位的工件，工件的一上表面向上突出；以及一支承机构，该支承机构支承安放台并使安放台可向下移动；以及其中，该安放台相对移动而靠近所述顶环并将工件压到顶环的下表面上，从而将工件传送给所述顶环。