[发明专利]制备太阳电池电极的方法及其电化学沉积装置

摘要

本发明公开了一种制备太阳电池电极的方法及其电化学沉积装置。本发明的制备太阳电池电极的方法是一种采用电化学沉积金属或金属合金工艺生成太阳电池电极的方法。本发明的方法具有提高光电转换效率，降低生产成本，并且反应时间短、工业废水容易处理等优点。

主权项

1、一种制备太阳电池电极的方法，其特征在于，包括：a：对一半导体薄片表面进行清洗和制绒后，对其一个表面浅扩散形成PN结的步骤；b：在浅扩散以后的半导体薄片的所述表面上沉积一层钝化和减反膜的步骤；c：在半导体薄片的所述表面上形成凹槽的步骤；d：对所述凹槽进行清洗后进行深扩散的步骤；e：对该半导体薄片的所述表面相对的另一表面进行钝化处理的步骤；f：对所述钝化处理后的半导体薄片进行化学沉积金属处理，并经烧结后形成该半导体薄片与该金属的合金的步骤；g：对上述半导体薄片进行预定时间的化学沉积金属或金属合金的步骤；h：对所述半导体薄片在一电化学沉积装置内进行电化学沉积金属或金属合金，从而形成太阳电池电极的步骤。