[发明专利]用脉冲射频等离子体控制薄膜制备中的尘埃颗粒的方法

摘要

本发明属于低温等离子体化学领域。其特征是：对射频电源进行脉冲调制，就是使射频在一段时间内输出(射频工作)，下一段时间内不输出(射频休止)，二者交替进行，即射频工作方式是脉冲的；对射频电源可以一重调制，也可二重或多重调制；调节脉冲调制的频率和占空比，控制尘埃颗粒的大小，并在射频休止时间内将尘埃颗粒抽走；在这个阶段，可以选择适当的尘埃颗粒让其掺入制备的薄膜中。本发明的效果和益处是可控制等离子体中尘埃颗粒的大小，可对薄膜的性质进行适当的控制，可广泛用于沉积薄膜的各种领域，带来巨大的经济效益。

主权项

1.一种用脉冲射频等离子体控制薄膜制备中的尘埃颗粒的方法，其特征是：(1)对射频电源进行一重、二重或多重脉冲调制，脉冲调制频率为2Hz-20KHz，占空比为5-95％；(2)由脉冲调制后的射频电源、电极、稳定和控制放电的匹配网络、尘埃颗粒监视部分、用于沉积薄膜的工作介质和相应的监控部分组成一套系统；(3)在脉冲调制后的射频电源的作用下，控制尘埃颗粒大小。