[发明专利]转移方法和转移装置无效
| 申请号： | 200610077126.4 | 申请日： | 2006-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN1867215A | 公开（公告）日： | 2006-11-22 |
| 发明（设计）人： | 松尾圭介;松田英介 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;H01L27/10 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种转移方法，其包括步骤：将包括支撑基体和提供在支撑基体上的转移层的供体基板放置在受体基板上，使转移层面对受体基板；将叠置的受体基板与供体基板之间的空间抽成真空；以及通过施加辐射线到处于抽成真空的气氛中的供体基板上，将转移层转移到受体基板上。 | ||
| 搜索关键词： | 转移 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种转移方法，包括步骤：将包括支撑基体和提供在所述支撑基体上的转移层的供体基板放置在受体基板上，使所述转移层面对所述受体基板；将所述受体基板与所述供体基板之间的空间抽成真空；以及通过施加辐射线到处于抽成真空的气氛中的供体基板上，将所述转移层转移到所述受体基板上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于索尼株式会社，未经索尼株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610077126.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
