[发明专利]接地屏蔽件及其方法有效
| 申请号： | 200610077209.3 | 申请日： | 2006-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN1862805A | 公开（公告）日： | 2006-11-15 |
| 发明（设计）人： | 安东尼·K·斯坦伯;阿尔文·J·约瑟夫;米特·厄特克 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01L23/552 | 分类号： | H01L23/552;H01L23/522;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李晓舒;魏晓刚 |
| 地址： | 美国纽*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种接地屏蔽件，其包括位于电介质层内的“奶酪式”金属和位于所述奶酪式金属之上第一金属层面内的金属区域。所述接地屏蔽件根据所使用的金属可具有不同形式，且进行设置从而防止铜(Cu)用作该接地屏蔽件的奶酪式金属中的金属时的扩散。该接地屏蔽件与标准的生产线后端(BEOL)集成结合在用于无源RF元件的第一金属(M1)层面提供低电阻的、很厚的金属。本发明还包括形成接地屏蔽件的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 接地 屏蔽 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种结构，包括：衬底，其具有位于其上的电介质层；金属层面，其位于所述电介质层之上；以及接地屏蔽件，其包括：奶酪式金属，其位于所述电介质层内，以及金属区域，其位于所述奶酪式金属之上所述金属层面内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于国际商业机器公司，未经国际商业机器公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610077209.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种抗天气干扰图像采集装置
- 下一篇：射频卡电话充值装置
