[发明专利]扫描探针显微镜、使用其的试样观察方法及装置制造方法

摘要

本发明提供了一种扫描探针显微镜、使用其的试样观察方法及装置制造方法，可以高的总处理能力不破坏试样地测量试样的正确的立体形状信息，并且可测量包含垂直侧壁或悬垂的试样的正确的立体形状信息。在仅在测定点使探针接触，在朝向下一测定点时，一旦提升探针并使其退避之后，移动到下一测定点，然后通过使探针接近，不破环试样地使用正确的立体形状的方法中，进行高频、微小振幅的悬臂励振和振动检测，并且，为了提高在急倾斜部的接触力检测灵敏度，进行横方向励振或纵横两方向励振。具有与测定对象的倾斜相一致地使探针倾斜的部件和可对用于检测探针与试样的接触状态的光由悬臂反射后的方向随着探针的倾斜产生的很大变化进行吸收或调整的结构。

主权项

1、一种扫描探针显微镜，用于测量包含试样的立体表面形状的所述试样的表面分布，并且具备：驱动机构，控制搭载了试样的试样台与探针的相互位置关系；和传感器，测量所述探针的变形状态，其特征在于，所述扫描探针显微镜具备：使所述探针以微小振幅高频振动的振动部件；和检测以微小振幅高频振动的所述探针与所述试样的接触状态的检测部件，其中在利用所述驱动机构将所述探针从所述试样的表面拉开、并使其移动到下一测定点附近后，连续进行利用所述驱动机构使所述探针接近所述试样的动作，直到所述检测部件针对所述试样的表面检测到一定的接触状态。