[发明专利]适合作为酸发生剂的盐以及含有这种盐的化学放大的抗蚀组合物无效
| 申请号： | 200610077420.5 | 申请日： | 2006-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN1841201A | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | 原田由香子;武元一树;户石好治 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/004;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张轶东;黄可峻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种式(I)的盐：其中环Y代表含有3－30个碳原子的单环或多环烃基，其中一个－CH2－基团被－COO－基团取代，以及单环或多环烃基中的至少一个氢原子任选地被含有1－6个碳原子的烷基、含有1－6个碳原子的烷氧基、含有1－4个碳原子的全氟烷基、含有1－6个碳原子的羟基烷基、羟基或氰基取代；Q1和Q2各自独立地代表氟原子或含有1－6个碳原子的全氟烷基；A+代表有机抗衡离子；n表示0－12的整数。本发明还提供含有式(I)盐的化学放大的抗蚀组合物。 | ||
| 搜索关键词： | 适合 作为 发生 以及 含有 这种 化学 放大 组合 | ||
【主权项】：
1、式(I)的盐：其中环Y代表含有3-30个碳原子的单环或多环烃基，其中一个-CH2-基团被-COO-基团取代，以及单环或多环烃基中的至少一个氢原子任选地被含有1-6个碳原子的烷基、含有1-6个碳原子的烷氧基、含有1-4个碳原子的全氟烷基、含有1-6个碳原子的羟基烷基、羟基或氰基取代；Q1和Q2各自独立地代表氟原子或含有1-6个碳原子的全氟烷基；A+代表有机抗衡离子；n表示0-12的整数。
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