[发明专利]涂敷处理方法和涂敷处理装置

摘要

本发明提供一种涂敷·显影装置，沿着基板的输送路径，在处理部内从输送上游端按顺序配置有：载置台模块；调温模块；涂敷模块；加热模块；在利用具有上下设置且相互独立地进退自如的上臂和下臂的基板输送机构，使上臂和下臂交替地动作，从上游侧的模块按顺序将基板一个个地输送至下游侧的模块时，为了使从调温模块向涂敷模块输送基板的臂和从加热模块接受基板的臂不同，而在涂敷模块和加热模块之间配置虚载置台，将上游端的载置台模块作为第1号模块并对下游侧的模块按顺序分配序号，在调温模块成为第偶数号模块时，用上述上臂接受第1号的载置台模块上的基板，在调温模块成为第奇数号模块时，用下臂接受第1号的载置台模块上的基板。

主权项

1.一种涂敷处理方法，使用以下涂敷处理装置进行涂敷处理，该涂敷处理装置具备：涂敷处理部，具有：载置台模块；调温模块，将基板的温度调整为设定温度；涂敷模块，对进行了温度调整的基板涂敷涂敷液；加热模块，加热涂敷有涂敷液的基板，这些模块沿着基板的输送路径从输送上游端按顺序配置；基板输送机构，具有上下设置且相互独立地进退自如的上臂和下臂，并且以沿着基板的输送路径从上游侧向下游侧输送基板的方式动作，该方法包括：用上臂和下臂中的一个臂接受上述载置台模块上的基板；用上臂和下臂中的另一个臂接受放置在下一个模块上的基板；进而将上述一个臂上的基板交接至该下一个模块；这样使上臂和下臂交替地动作，从上游侧的模块按顺序将基板一个个地输送至下游侧的模块，为了使从调温模块向涂敷模块输送基板的臂和从加热模块接受基板的臂不同，而在上述输送路径中的涂敷模块和加热模块之间配置虚载置台，将上游端的载置台模块作为第1号模块并对下游侧的模块按顺序分配序号，在调温模块成为第偶数号模块时，用上述上臂接受第1号的载置台模块上的基板，在调温模块成为第奇数号模块时，用下臂接受第1号的载置台模块上的基板，并始终用下臂进行基板从调温模块向涂敷模块的输送。