[发明专利]表面处理方法及膜图案的形成方法无效
| 申请号： | 200610077890.1 | 申请日： | 2003-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN1905782A | 公开（公告）日： | 2007-01-31 |
| 发明（设计）人： | 平井利充;长谷井宏宣 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H05K3/12 | 分类号： | H05K3/12;H01L21/288;H01L21/312;H01L21/768;H01Q1/22;H01Q7/00;H01Q9/27;B41M3/00;B41M7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供为了改善由喷墨法完成的膜图案的形成，而能得到均匀具有所需亲液性的基板的表面处理方法、以及依据该表面处理得到的表面处理基板及膜图案的形成方法等。本发明中，在基板表面上进行形成由有机分子构成的自我组织化膜的疏液化处理。之后用紫外光照射等方法缓和疏液性，而达到所需的疏液性。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 处理 方法 图案 形成 | ||
【主权项】：
1.一种膜图案的形成方法，其特征在于，在基板的表面进行疏液化处理，且对经所述疏液化处理的区域进行亲液化处理，将由含有膜形成成分的液体构成的液滴通过喷墨法喷到经所述亲液化处理的所述基板上，以形成膜图案，其中通过实施所述疏液化处理和亲液化处理，使喷出的多个液滴互不接触。
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