[发明专利]光学空间频率反应量测方法

摘要

一种光学空间频率反应量测方法，其用来量测一待测影像模块上一特定区域的光学分辨率。该光学空间频率反应量测方法包含有：利用该待测影像模块获取一测试图样的一影像，其中该测试图样包含有多个测试区域，每一个测试区域包含有多个区域图样，每一区域图样具有一倾斜边缘；计算该影像中对应该特定区域的每个测试区域的多个区域图样的光学解析调变转换函数；以及平均每个测试区域的多个光学解析调变转换函数，以作为该测试区域的光学解析调变转换函数MTF的分布。

主权项

1.一种光学空间频率反应量测方法，其用来量测一待测影像模块上一特定区域的光学分辨率，其特征在于，该光学空间频率反应量测方法包含有：利用待测影像模块获取一测试图样的一影像，其中该测试图样包含有多个测试区域，每一个测试区域包含有多个区域图样，每一区域图样皆具有一倾斜的黑白边缘，而特定区域是对应于测试图样的至少一测试区域；对影像进行分析，以找出该影像中对应于特定区域的测试区域的每个区域图样的不同边缘的强度分布；分别将特定区域中每个区域图样的不同边缘的强度分布进行偏微分，以将其转换为多个线分布函数；分别对每个区域图样的线分布函数进行傅利叶转换，以产生所对应的区域图样的光学空间频率反应；以及将每个测试区域的每个区域图样的光学空间频率反应加以平均，以得出一平均光学空间频率反应，以作为该测试区域的光学解析调变转换函数分布。