[发明专利]精密平台有效
| 申请号： | 200610079850.0 | 申请日： | 2006-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN1862244A | 公开（公告）日： | 2006-11-15 |
| 发明（设计）人： | 栗山丰 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01M11/04 | 分类号： | G01M11/04;B01L9/02;G12B5/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种精密平台，其特征在于，具备：中空状的壳体，将基准平面设为工件及/或机械装置的载置面；蜂窝结构体，是设在上述壳体的内部的大致同一形状的密闭小空间的集合体；热移动器，为了将上述蜂窝结构体的各小空间彼此连通，进行该各小空间彼此间的热移动而设在蜂窝结构体中；经由上述热移动器主动地进行上述蜂窝结构体的各小空间彼此间的热移动。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 平台 | ||
【主权项】：
1、一种精密平台，其特征在于，具备：中空状的壳体，将基准平面设为工件及/或机械装置的载置面；蜂窝结构体，是设在上述壳体的内部的大致同一形状的密闭小空间的集合体；热移动器，设在蜂窝结构体中，以使上述蜂窝结构体的各小空间彼此连通、进行该各小空间彼此间的热移动；经由上述热移动器主动地进行上述蜂窝结构体的各小空间彼此间的热移动。
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