[发明专利]压电薄膜谐振器与滤波器有效
| 申请号： | 200610080180.4 | 申请日： | 2006-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN1862959A | 公开（公告）日： | 2006-11-15 |
| 发明（设计）人： | 西原时弘;横山刚;谷口真司;坂下武;堤润;岩城匡郁;上田政则 | 申请（专利权）人： | 富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15;H03H9/54 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 孙海龙 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种压电薄膜谐振器，包括：形成于衬底上的下电极，形成于所述下电极上的压电膜，以及形成于所述压电膜上的上电极。在所述的压电薄膜谐振器中，所述上电极具有比下电极更厚的膜厚。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 薄膜 谐振器 滤波器 | ||
【主权项】：
1、一种压电薄膜谐振器，包括：下电极，形成于衬底上；压电膜，形成于所述的下电极上；以及上电极，形成于所述的压电膜上；所述上电极具有比所述下电极更厚的膜厚。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社，未经富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610080180.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
