[发明专利]分解硫氟化合物的装置及其方法有效
| 申请号： | 200610080310.4 | 申请日： | 2006-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN101069810A | 公开（公告）日： | 2007-11-14 |
| 发明（设计）人： | 颜绍仪;许荣男;李寿南 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | B01D53/86 | 分类号： | B01D53/86;B01D53/68 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 封新琴;巫肖南 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种分解硫氟化合物的方法及装置，在较低的反应温度下，通过两步分解硫氟化合物，以形成高水溶性的化合物，接着再以水洗的方式去除废气中的硫氟化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 分解 氟化 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种分解硫氟化合物的方法，包括下列步骤：提供硫氟化合物与第一催化剂接触，以分解该硫氟化合物形成第一分解物；以及提供第二催化剂与该第一分解物接触，以分解该第一分解物形成第二分解物，其中该第二分解物可溶于水，优选所述硫氟化合物包括：SF6、SO2F2 或SOF2。
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