[发明专利]浸润式微影系统及其制程有效
| 申请号： | 200610080805.7 | 申请日： | 2006-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN1952785A | 公开（公告）日： | 2007-04-25 |
| 发明（设计）人： | 林进祥;施仁杰 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02F1/13;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 台湾省新竹市新*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种浸润式微影系统及其制程，该浸润式微影系统，其至少包含：一物镜；一基材平台，设置于该物镜之下；一液晶，至少部份地填充于该物镜与该基材平台上的一基材间的一空间；以及一液晶控制器，具有一第一电极和一第二电极，该第一电极和该第二电极是设置来在曝光制程中控制该液晶。本发明中，液晶具有高折射率，并可借由适当电压或其他适当方法来达到最佳化的折射率与聚焦深度。 | ||
| 搜索关键词： | 浸润 式微 系统 及其 | ||
【主权项】：
1、一种浸润式微影系统，其特征在于其至少包含：一物镜；一基材平台，设置于该物镜之下；一液晶，至少部份地填充于该物镜与该基材平台上的一基材间的一空间；以及一液晶控制器，具有一第一电极和一第二电极，该第一电极和该第二电极是设置来控制该液晶。
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