[发明专利]用于衬底热控制的装置和方法

摘要

本发明提供了用于热控制衬底的歧管装置、系统和方法，其中将歧管体附装到衬底表面用于加热或冷却衬底，所述歧管体具有在与衬底表面垂直的方向上穿过歧管体并相互平行的微喷射管阵列和排泄管阵列。歧管体的空腔位于衬底表面之上，从而将液体从液体微喷射管喷射到所述空腔中以与衬底表面接触，而排泄管从所述空腔垂直除去用过的液体。所述歧管体被设计并构建成多个冷却单元，其中每个冷却单元具有被至少三个排泄管包围的液体微喷射管，用于防止在相邻冷却单元中的相邻液体微喷射管之间的相互作用。气体微喷射管也可以穿过歧管体以形成与衬底表面接触的雾化液体喷雾。

主权项

1.一种用于衬底的热控制的液体冲击歧管装置，包括：歧管体，用于附装到衬底表面；微喷射管阵列，在与所述衬底表面垂直的方向上穿过所述歧管体；排泄管阵列，穿过所述歧管体，与所述微喷射管阵列相邻并平行；以及所述歧管体的空腔，在所述衬底表面之上，其中所述微喷射管阵列将液体喷射到所述空腔中以与所述衬底表面接触，用于所述衬底的热控制，而所述排泄管阵列在与所述衬底表面垂直的所述方向上从所述空腔除去用过的液体。